Поставка вакуумного привода вращения

Изготовлен и поставлен вакуумный привод вращения по техническому заданию заказчика.

Особенностью поставленного привода является наличие полого вала, который позволяет подавать в объем вакуумной камеры охлаждающую жидкость для внутрикамерных устройств.

В комплект поставки входит сервопривод, позволяющий осуществлять точное позиционирование исполнительных механизмов в камере.