Установка металлизации керамики методом пароструйного осаждения
- Стандартный размер подложек 48x60 мм
- Высокая скорость металлизации без высоковакуммных средств откачки
- Нанесение покрытия на внутреннюю поверхность отверстий для создания электрического перехода между сторонами подложки
- Загрузка и выгрузка подложек через шлюзовую камеру без разгерметизации технологического объема
- Откачная система на базе форвакуумного насоса и насоса Рутса
- Три источника материала с непрерывной подачей проволоки в зону испарения
- Газовая система с подачей инертного рабочего газа в источник для доставки материала к подложке
-
рабочее давление: 10-3 мбар
-
количество обрабатываемых пластин: 20
-
количество позиций обработки: 3
-
габариты: 3300х1800х1800 мм
Основными узлами установки являются: два шлюза (загрузки и выгрузки изделий), которые через вакуумные затворы присоединены к технологической камере. Камера собрана из стандартных крестов — шестериков ISO250. Вся конструкция камеры закреплена на раме.
Внутри камеры вдоль её оси проходит конвейер, осуществляющий транспортировку и сканирование подложек, возможна установка механизма качания подложек.
На верхнем фланце камеры установлен источник материала.
На один из боковых фланцев устанавливается вакуумное окно для визуального контроля за процессом нанесения покрытий. Второй боковой фланец является резервным.
Установка рассчитана на использование трёх источников материала, что позволяет получать многослойные покрытия в едином вакуумном цикле.