Заслонка для диафрагмирования откачки на фланце ISO-F 200 для установки плазмохимического травления является полным аналогом заслонки VAT 61-й серии. Заслонка полностью взаимозаменяема с оригиналом по геометрическим размерам и схеме подключения в систему управления установкой.
Назначение и область применения
Заслонка для диафрагмирования откачки применяется в установке плазмохимического травления для поддержания стабильного давления рабочего газа, подаваемого в камеру при одновременном снижении нагрузки на откачную систему оборудования.
Главная сложность данного проекта заключалась в том, что необходимо было спроектировать и изготовить полную замену оригинальной конструкции - заслонки производства компании VAT, выпущенной в Швейцарии.
Сама установка, где был установлен прототип была спроектирована и поставлена в Германии. С момента ввода установки в эксплуатацию из-за санкционных ограничений были утрачены связи с производителем, а заслонка 61 серии была снята с производства.
Чтобы обеспечить работоспособность оборудования необходимо было не только повторить геометрические размеры и технические характеристики, но также обеспечить идентичность электрического подключения в систему управления установкой.
Конструктивные особенности
- корпус и диск заслонки выполнены из нержавеющей стали;
- заслонка предназначена, в том числе, для работы с химически активными рабочими газами;
- привод на основе шагового биполярного двигателя, питание обмоток - 3 В;
- присоединительный фланец ISO-F 200;
- наличие системы компенсации зазоров в приводе диска для обеспечения точного положения заслонки
Ход выполнения работ
Мы не ставили перед собой задачу провести полный реинжиниринг конструкции. Более того, у наших специалистов не было такой возможности, так как заказчик согласовал остановку работы установки только на один рабочий день, исключив возможность разборки исходной заслонки для изучения ее конструкции.
Во время посещения предприятия заказчика наши специалисты сняли габаритно-присоединительные размеры и параметры подключения к системе управления.
Для обеспечения совместимости с системой управления был использован двигатель, идентичный используемому в швейцарской заслонке. Это единственный узел, который был взят из оригинальной конструкции.
Саму конструкцию заслонки и ее привода проектировали с нуля. Единственным условием было обеспечение полной взаимозаменяемости новой конструкции с оригинальным изделием.
Заслонка была собрана из деталей, изготовленных по разработанной конструкторской документации, и испытана в нашей лаборатории.
После испытаний готовая заслонка была упакована и отправлена заказчику.
Если у вас похожая задача
Если у вас похожая задача — замена или проектирование узла вакуумной механики, который невозможно купить, обратитесь к нам. Мы подготовим техническое задание и предложим решение, которое полностью будет соответствовать вашим требованиям.
Для начала работ просто оставьте заявку на сайте, напишите нам письмо с описанием задачи или позвоните, чтобы получить консультацию наших сеециалистов.