Вводы движения в вакуум
Поставка ввода вращения в вакуум
Изготовлен и поставлен ввод вращения
в вакуум с манжетным уплотнением.
Ввод вращения изготовление
по техническому заданию заказчика.
Поставка вакуумного привода вращения
Изготовлен и поставлен вакуумный
привод вращения по техническому
заданию заказчика.
Особенностью поставленного привода
является наличие полого вала, который
позволяет подавать в объем вакуумной
камеры охлаждающую жидкость для
внутрикамерных устройств.
В комплект поставки входит
сервопривод, позволяющий
осуществлять точное позиционирование
исполнительных механизмов в камере.