Вакуумное оборудование

Проведены проектные работы вакуумной системы установки диффузионной сварки.

Установка предназначена для отработки технологии плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного и оптического стекла, а также керамики с помощью электронного луча. Технология предназначена для применения при изготовлении деталей и узлов электронных и оптических приборов. Использование электронно-лучевого нагрева при резке и сварке деталей из электровакуумного стекла обеспечивает неизменный химический состав материала в зоне сварочного соединения.

Установка предназначена для реализации метода пароструйного осаждения покрытий на керамические подложки размером 48х60 мм. Метод пароструйного осаждения позволяет получать токопроводящие покрытия с высокой скоростью роста и не требует применения высоковакуумных систем откачки.

Установка предназначена для проведения лабораторных работ и отработки технологии нанесения тонкопленочных покрытий. Наличие четырёх фланцев позволяет использовать различные технологические источники: дуговые испарители, магнетронные распылительные системы, устройства ионной очистки.

Установка предназначена для откачки и заполнения рабочими газами трёх изделий специального назначения. Установка позволяет откачивать объем подключенных изделий, а после заполнять его смесью газов с избыточным давлением до 8 атм. Установка получила обозначение ГОРН-3.

Установка предназначена для откачки и заполнения рабочими газами изделия специального назначения. Установка позволяет откачивать объем подключенного изделия, а после заполнять его газами с избыточным давлением до 8 атм. Установка получила наименование ГОРН-1.