Трехпозиционная установка предназначена металлизации керамических подложек размером 48х60 мм. Используемый метод металлизации позволяет получать токопроводящие покрытия с высокой скоростью роста и не требует применения высоковакуумных систем откачки.
- Стандартный размер подложек 48x60 мм
- Высокая скорость металлизации без высоковакуммных средств откачки
- Нанесение покрытия на внутреннюю поверхность отверстий для создания электрического перехода между сторонами подложки
- Загрузка и выгрузка подложек через шлюзовую камеру без разгерметизации технологического объема
Технологическое оснащение
- Откачная система на базе форвакуумного насоса и насоса Рутса
- Три источника материала с непрерывной подачей проволоки в зону испарения
- Газовая система с подачей инертного рабочего газа в источник для доставки материала к подложке
Технические характеристики
- рабочее давление: 10-3 мбар
- количество обрабатываемых пластин: 20
- количество позиций обработки: 3
- габариты: 3300х1800х1800 мм
Описание конструкции
Основными узлами установки являются: два шлюза (загрузки и выгрузки изделий), которые через промежуточную камеру присоединены к технологической камере.
Камера собрана из стандартных крестов — шестериков ISO250. Вся конструкция установки закреплена на единой раме.
Внутри технологической камеры вдоль её оси проходит система перемещения поддложек. Система перемещения осуществляет транспортировку и сканирование подложек в трех координатах (X, Y, Z). Возможна установка механизма качания.
На верхних фланцах камеры установлены источники наносимого материала.
На боковые фланцы камер нанесения устанавлены вакуумные окна для визуального контроля за процессом нанесения покрытий. Второй боковой фланец является резервным.
Установка рассчитана на использование трёх источников материала, что позволяет получать многослойные покрытия в едином вакуумном цикле.
Один из технологических фланцев является резервным. При необходимости на него может быть установлена система очистки подложек или дополнительный источник нанесения.